توفر أنظمة معالجة البلازما المجمعة خيارات غرفة فراغ صغيرة ومتوسطة وكبيرة، مما يوفر ارتباط العملية واستمرارية وحدة التحكم ومعالجة بلازما غاز الفراغ الموثوقة والمتكررة.
تعتبر أنظمة المعالجة بالبلازما من سلسلة AP مناسبة لمجموعة واسعة من التطبيقات، بما في ذلك تنظيف البلازما، وتنشيط السطح، وتحسين الالتصاق. تخدم هذه الأنظمة قطاعات مثل تصنيع أشباه الموصلات، وتغليف وتجميع الإلكترونيات الدقيقة، وإنتاج المعدات الطبية ومعدات علوم الحياة. تشتمل سلسلة AP على أربعة أنظمة معالجة بلازما على دفعات، مما يوفر خيارات غرف مفرغة صغيرة ومتوسطة وكبيرة لتلبية احتياجات العملاء التي تتراوح من بيئات البحث والتطوير إلى مستويات الإنتاج المختلفة.
مميزات وفوائد أنظمة المعالجة بالبلازما
● توفر وحدة التحكم PLC المزودة بواجهة شاشة تعمل باللمس عرضًا رسوميًا بديهيًا ومراقبة العملية في الوقت الفعلي
● يسمح تصميم الرف المرن بمعالجة حاملات الأجزاء المختلفة إما في أوضاع البلازما المباشرة أو النهائية
● يضمن مولد التردد اللاسلكي بتردد 13.56 ميجاهرتز مع مطابقة المعاوقة التلقائية إمكانية تكرار العملية بشكل لا مثيل له
● يقوم نظام التحكم بالبرمجيات الاحتكارية بإنشاء بيانات العملية والإنتاج للتحكم في العمليات الإحصائية (SPC)
● عملية على غرار الدفعة. كل وحدة مستقلة بالكامل وتتطلب الحد الأدنى من المساحة الأرضية
● توجد المضخة والغرفة وإلكترونيات التحكم ومولد التردد اللاسلكي بتردد 13.56 ميجاهرتز في حاوية واحدة
نماذج وتكوينات نظام معالجة البلازما
أنظمة معالجة البلازما الموضوعة على الطاولة AP-600 وAP-300:نظاما المعالجة بالبلازما AP-300 وAP-600 عبارة عن وحدات توضع على الطاولة ومستقلة تمامًا وتتطلب الحد الأدنى من مساحة طاولة العمل. يحتوي هيكل النظام على غرفة البلازما، وإلكترونيات التحكم، ومولد التردد اللاسلكي بتردد 13.56 ميجاهرتز، وشبكة مطابقة الغرفة الأوتوماتيكية (توجد مضخة التفريغ فقط خارجيًا). يتم توفير الوصول إلى الصيانة عبر أبواب متشابكة أو ألواح قابلة للإزالة. تدعم حجرة البلازما ما يصل إلى سبعة أرفف قابلة للإزالة والتعديل تعمل بالطاقة أو مؤرضة لاستيعاب الأجزاء والتجمعات والحوامل المختلفة، بما في ذلك المجلات والصواني وقوارب الويفر. يستوعب نظام معالجة البلازما الفراغية مجموعة واسعة من غازات المعالجة، بما في ذلك الأرجون والأكسجين والهيدروجين والهيليوم والغازات المفلورة. يأتي كلا الطرازين مزودين بشكل قياسي بوحدتين (2) للتحكم في التدفق الشامل للتحكم الأمثل في الغاز، مع توفر وحدتين (2) إضافيتين كخيارات (ما يصل إلى أربع وحدات إجمالاً). تعمل اتصالات المرافق المريحة على تسهيل المعايرة الدورية المطلوبة أثناء عمليات التحقق من الصحة.
نظام معالجة البلازما AP-1000:تسمح منصة AP-1000 بالوصول الأمامي الكامل، مما يسهل التشغيل والصيانة السهلة لجميع المكونات الداخلية. يتم تركيب المضخة على عجلات لسهولة إزالتها. تم تصنيع حجرة البلازما من الفولاذ المقاوم للصدأ عيار 11 مع تركيبات من الألومنيوم، مما يضمن متانة استثنائية. تتميز الغرفة بأرفف متعددة قابلة للإزالة والتعديل لاستيعاب مجموعة متنوعة من حاملات الأجزاء، بما في ذلك المجلات والصواني والرقائق وقوارب الويفر. يجمع نظام معالجة البلازما AP-1000، المجهز بأرفف HTP (عالية الإنتاجية) الاختيارية، بين الموثوقية وجودة المعالجة لمنصة AP-1000 والمزايا المثبتة لتصميم الرف الفريد من Nordson MARCH. يعمل AP-1000 HTP على تحسين استخدام الأيونات التفاعلية داخل بلازما التردد اللاسلكي، مما يعزز تجانس المعالجة مع تقليل أوقات الدورات. يدعم نظام AP-1000 HTP مجموعة من غازات المعالجة، مثل الأرجون والهيدروجين والهيليوم. يأتي قياسيًا مع أربع وحدات تحكم في تدفق كتلة الغاز لضمان التحكم الأمثل في الغاز. يتم وضع المجلات المشقوقة عموديًا داخل الغرفة.
بالإضافة إلى ذلك، يمكن وضع المجلات ذات الشقوق عموديًا داخل الحجرة. عادةً، تحتوي كل مجلة على 20 إطارًا رصاصيًا على الأقل. يمكن لغرفة البلازما AP-1000 استيعاب ما يصل إلى 12 مجلة، حسب حجم المجلة.
الكلمات الساخنة: سلسلة دفعات MARCH AP، معدات معالجة الدفعات، مورد آلات الدفعات الصناعية
إذا كان لديك أي استفسار حول عرض أسعار أو تعاون، فلا تتردد في إرسال بريد إلكتروني أو استخدام نموذج الاستفسار التالي. سيتصل بك مندوب المبيعات لدينا خلال 24 ساعة.
نحن نستخدم ملفات تعريف الارتباط لنقدم لك تجربة تصفح أفضل، وتحليل حركة مرور الموقع، وتخصيص المحتوى. باستخدام هذا الموقع، فإنك توافق على استخدامنا لملفات تعريف الارتباط.سياسة الخصوصية